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CD版
¥79,200
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ダウンロード版
¥79,200
発刊:2025年10月
頁数:350頁
造本:B5、PDF
※サンプル版
https://ntsbook.tameshiyo.me/9784860439880
序論をブラウザ上でご覧いただけます。
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◎ダウンロード版のご購入を希望される方へ
受注後、弊社担当者より外部データの取込み方等、ご購入者様側の環境を確認させていただきます。
ご理解、ご協力のほどお願いいたします。
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二次元から三次元へ!微細化の限界を突破!
半導体の性能を大きく向上させる3次元実装技術!!
◆最新の後工程プロセスや関連技術について徹底的に詳説!
◆図解等を交えながら、複雑な組立やテストプロセスの詳細を分かりやすく解説!
【監 修】
福島 誉史(東北大学)
【主な目次】
序論 三次元積層技術の展望と課題
第1章 設計技術
第2章 TSV(シリコン貫通電極)
第3章 接合技術
第4章 インターポーザー
第5章 アプリケーション
第6章 関連材料
第7章 信頼性
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